iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能与优势
优化了设施消耗
无需预防性维护
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证
轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对消音器的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间
泵系列
实践证明，Edwards 高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
iH80
iH160
iH600
iH1000
iH1800
iH1800HTX
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