iGX 干泵真空系统
iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准；这 使其成为了世界上最受欢迎的干泵之一，目前已在大多数 领先的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接，允许通过网页查看 主要数据，同时包括一套全面的网络选项， 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项，包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术， 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 （与 iL/iH 干泵相比）。
基于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
应用
目标应用包括：
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
客户也将 iGX 用于一系列 清洁和轻负载应用。
主要特性和优势
低功耗和零预防性维护，可降低拥有成本
小巧轻便，可使用灵活的 安装选项
高性能电机和变频器驱动装置
待机模式使用环保模式，功耗 更低
高导热性材料和 优良设计可实现低水流量和高效冷却
精密陶瓷轴承 可确保高负载容量，因而更加可靠
低振动和小于 55 dB(A) 的低噪声，可以安装在操作中同附近
泵系列
iGX100
iGX600
iGX1000
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