EBARA荏原ESA200W罗茨干式真空泵维修保养

型号：ESA200W

额定功率：3.2 KW

抽气量：333 立方米/小时

重量：410 KG

产品简介：荏原ESA200W罗茨干式真空泵是一款新研发的独特干式真空泵。它的抽气速度为30,000L/min，适用于轻制程。具有优越的高速排气性能，适应了LCD溅射制膜装置，真空干燥制程等工艺要求。该机型按SEMI工业标准设计，主要应用于轻制程的应用，具有超低的能耗和超高的能效。

其它型号： ESA15-D ESA25-D ESA70W-D ESA70WN-D ESA80W-HDF ESA80WN-HDF ESA100W ESA100WN ESA200W ESA300W ESA500W

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