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真空泵维修保养

罗茨干式真空泵

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EBARA荏原ESA100WN罗茨干式真空泵维修保养

型号:ESA100WN

入口连接:NW50

额定功率:4.9 KW

重量:400 KG

产品简介:荏原ESA100WN罗茨干式真空泵,广泛应用于半导体、太阳能光伏等高端制造行业。该设备具有高抽速、低功耗的特点,能在无油环境下稳定运行,保证清洁的工作环境。性能参数包括极限真空度达5x10^-5 Torr,最大抽速为100L/s,噪音低至65dB,确保高效且低噪的运作。

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