型号:ESR 80WN
重量:180 KG
适用范围:适用SEMI-S2/CEmarking/NRTL标准
维修费用:888 元起
产品简介:荏原ESR 80WN罗茨干式真空泵,适用于包括L/L,SEM在内的轻负荷工艺及腐蚀性流程。该设备融合了微处理器技术,确保控制灵敏,便于维护。同时,其配置灵活可选,满足特定行业需求,如半导体、照明及太阳能行业。
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