型号:ESR 80W
抽气量:80 立方米/小时
额定功率:1 KW
入口连接:NW50
产品简介:荏原ESR 80W罗茨干式真空泵,适用于轻负荷制程如L/L和SEM,以及腐蚀性工艺。该型号采用微处理器技术,具备灵敏的控制和方便更换的液晶控制器,有效降低运营成本。其抽气速度可达1,300至30,000L/min,占地面积小,重量轻,可选配氮气轴封和适用于腐蚀性气体的镍合金材料配置,增强泵速控制功能,是节能型罗茨泵的理想选择。
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