EBARA荏原ESR 30罗茨干式真空泵维修保养

型号：ESR 30

噪音等级：67 db

抽气量：50 立方米/小时

额定功率：1.7 KW

产品简介：荏原ESR 30罗茨干式真空泵，抽速范围1,300 – 30,000L/min，适用于轻负荷及腐蚀性制程。在LCD溅射、真空干燥等高端制程中表现出色，满足SEMI标准，具备超低能耗和高能效，同时拥有先进的可调抽速和安全报警功能。

其它型号： ESR 20N ESR 30 ESR 30N ESR 80W ESR 80WN ESR 100WN ESR 200W ESR 200WN ESR 300W(N) ESR 500W(N)

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