EBARA荏原ESR 20N罗茨干式真空泵维修保养

型号：ESR 20N

适用范围：适用SEMI-S2/CEmarking/NRTL标准

额定功率：0.7 KW

极限真空：0.4 mbar

产品简介：日本荏原制作所推出的ESR20N罗茨干式真空泵，是一款高效、小型的设备，广泛应用于需要避免油污染的真空工艺，如半导体生产、药品加工等领域。该泵采用微处理器技术，具有氮气轴封可选配置，能够有效降低运营成本。在处理腐蚀性气体时，可选用镍合金材料配置，增强设备耐用性。

其它型号： ESR 20N ESR 30 ESR 30N ESR 80W ESR 80WN ESR 100WN ESR 200W ESR 200WN ESR 300W(N) ESR 500W(N)

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