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真空泵维修保养

IXH系列半导体真空泵

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Edwards爱德华IXH1210H半导体真空泵维修保养

型号:IXH1210H

入口连接:ISO100

极限真空:0.005 mbar

抽气量:1025 立方米/小时

产品简介:爱德华IXH1210H半导体真空泵专为高真空应用设计,适用于半导体制造、薄膜沉积和科研等领域。该泵具备高抽速、低极限压力和优异的颗粒控制能力,确保制程环境洁净。其紧凑设计和高效能使其成为严苛工艺条件下的理想选择。

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