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真空泵维修保养

IXH系列半导体真空泵

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Edwards爱德华IXH500Q半导体真空泵维修保养

型号:IXH500Q

重量:240 KG

噪音等级:72 db

额定功率:4 KW

产品简介:爱德华IXH500Q半导体真空泵是专为高纯度半导体制造而设计的干式泵,采用无油技术确保清洁的真空环境。该设备具有高抽速和低极限压力,适用于光刻、蚀刻和CVD等关键制程。其紧凑设计兼容自动化系统,提高生产效率,满足现代半导体产业对高性能与可靠性的需求。

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