Edwards爱德华IXH200H半导体真空泵维修保养

型号：IXH200H

入口连接：ISO63

额定功率：7.5 KW

适用范围：适用于研发实验室、大型工业应用等领域需要长时间稳定运行的环境

产品简介：爱德华IXH200H半导体真空泵，专注于单晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封装、测试等制程。这款泵具有高峰值抽取速度，紧凑的尺寸设计使其占地面积小，安装方便。ixh系列泵采用机械原理和分子筛技术，通过叶片及轴承旋转压缩排出气体，并利用分子筛吸附水分子，优化真空度至1.0×10^-5Pa，实现高效且干扰少的抽真空性能，显著提升制程可靠性并降低拥有成本。该产品是一种高性能的真空泵，广泛应用于半导体制造过程中。该型号以其优异的抽真空能力与空间效率而受到青睐，特别在严苛制程中表现出色，有效提高生