Edwards爱德华IXH100半导体真空泵维修保养

型号：IXH100

适用范围：适用于研发实验室、大型工业应用等领域需要长时间稳定运行的环境

极限真空：0.005 mbar

抽气量：100 立方米/小时

产品简介：爱德华IXH100半导体真空泵专为半导体制造与加工设计，具有高效的干式机械结构。该泵在操作中仅需极低能量，功率降至1.3kW，较前代产品节能60%，显著减少环境负担。IXH100系列为严苛的化学过程提供优化解决方案，满足行业对高性能及环保的双重需求。

其它型号： IXH100 IXH200 IXH200H IXH500H IXH500Q IXH610 IXH645H IXH1210 IXH1210H IXH1220H

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