ULVAC爱发科LR-HR-UR系列罗茨干式真空泵维修保养

型号：LR-HR-UR系列

额定功率：14 KW

入口连接：VG50

重量：180 KG

产品简介：爱发科LR-HR-UR系列罗茨干式真空泵，广泛应用于半导体、太阳能光伏、化工等领域。该设备具备高抽速、低能耗、无油污染等特点，性能参数卓越，如极限压力可达10^-5 Torr，最大抽速高达2000 L/s，确保工艺过程的高效与稳定。

其它型号： LR60 HR60 LR/HR/UR系列

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