轴承轴封磨损相关信息

深圳某半导体公司的Leybold莱宝SV200螺杆真空泵在日常运行过程中出现了性能下降的迹象，经过东欧真空初步诊断，发现泵腔内部出现了锈蚀现象，轴承轴封也显示出明显的磨损迹象。本报告记录Leybold莱宝SV200螺杆真空泵在维修过程中的各个环节，包括对泵腔生锈、轴承轴封磨损以及电机损坏等问题的详细描述和分析。