品牌：阿尔卡特高真空技术
单位：个
重量：67660 克
该A3P系列特别设计，以减低营运成本。
涵盖范围广泛的抽水速度，从100m3/h 到1000m3/h，A3P系列每300毫米响应一次，以最低的工作成本达到中等真空要求。
与传统的抽真空方案相比，节省了高达50％的电力消耗，其中以最低的冷却水流量，和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50％的消耗的原因！
特点：
·低公用事业费：1000m3/h 泵只要1.5kW
·紧凑的设计：只有310mm宽
·复合罗茨技术
· 耐腐蚀
·低噪声
·低振动
·与 Semi S2-0706兼容
该A3P系列特别设计，以减低营运成本。
涵盖范围广泛的抽水速度，从100m3/h 到1000m3/h，A3P系列每300毫米响应一次，以最低的工作成本达到中等真空要求。
与传统的抽真空方案相比，节省了高达50％的电力消耗，其中以最低的冷却水流量，和降低的氮气吹扫为主要的关键特征。所有这一切是减少高达50％的消耗的原因！
特点：
·低公用事业费：1000m3/h 泵只要1.5kW
·紧凑的设计：只有310mm宽
·复合罗茨技术
·耐腐蚀
·低噪声
·低振动
·与 Semi S2-0706兼容
主要优点：
·降低了总成本
·占地面积小，节省空间
·高可靠性
· 符合半导体加工规则
应用：
·蚀刻（氧化，聚合）
· RTP协议
·分解/灰化
·植入源
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