iXL 高性能干式真空泵机组
iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。
这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。
适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
一流的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间最多减少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
极小且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的最小且最安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。
一流的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间最多减少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时最大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
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